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高純氣體,來自工業應用的用詞,(PurifiedGases)氣體工業名詞,通常指利用現代提純技術能達到的某個等級純度的氣體。而且對于不同類別的氣體,純度指標不同,例如對于氮,氫,氬,氦而言,通常指純度等于或高于99.999%的為高純氣體;