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    1、直接合成法經凈化后的氟(含HF≤0.5%)和硫反應生成六氟化硫及少量的S2F10、SF4、SF2和S2F2。經水洗、堿洗除去絕大部分雜質氣體,再經熱解爐分解S2F10成SF6和SF4(300~350℃),然后經堿洗進一步除去雜質,凈化

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